基板检查装置:AOI/锡膏印刷检查设备:SPI
雅马哈发动机 基板检查装置:AOI
YSi-V 3D混合型光学式外观检查装置
YSi-V | |
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对象基板尺寸mm | L610 × W560(最大) ~ L50 × W50(最小)(单轨机型) ※支持L750mm超长基板(选配) |
相机像素 | 1200万像素 |
分辨率 | 12µm / 7µm |
检查对象 | 刚贴装后的元件状态、固化后的锡膏及元件的状态 |
电源规格 | 3相 200/208/220/240/380/400/416V ±10% 50/60Hz |
供给气源 | 0.45MPa以上、清洁干燥状态 |
外形尺寸(突起部除外) | L1,252 × W1,498 × H1,550mm |
主体重量 | 约 1,300kg |
YSi-SP 3D高速锡膏印刷检查装置
YSi-SP | ||
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对象基板尺寸 | L510mm×W460mm ~ L50mm×W50mm(单轨机型) ※无双轨机型 |
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水平分辨率(FOV尺寸) | 1)25μm / 12.5μm(约50×50mm) 2)20μm / 10μm(约40×40mm) 3)15μm / 7.5μm(约30×30mm) ※均为标准选择式 |
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高度分辨率 | 1µm | |
检查项目 | 锡膏印刷状态(体积、高度、面积、位置偏移) | |
电源规格 | 单相 AC 200/208/220/230/240V ±10% 50/60Hz | |
供给气源 | 无需空气 | |
外形尺寸(突起部除外) | L904×W1,080×H1,478mm | |
主体重量 | 约550kg |