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基板检查装置:AOI/锡膏印刷检查设备:SPI

雅马哈发动机 基板检查装置:AOI

YSi-V 3D混合型光学式外观检查装置

YSi-V
YSi-V
对象基板尺寸mm L610 × W560(最大) ~ L50 × W50(最小)(单轨机型)
※支持L750mm超长基板(选配)
相机像素 1200万像素
分辨率 12µm / 7µm
检查对象 刚贴装后的元件状态、固化后的锡膏及元件的状态
电源规格 3相 200/208/220/240/380/400/416V ±10% 50/60Hz
供给气源 0.45MPa以上、清洁干燥状态
外形尺寸(突起部除外) L1,252 × W1,498 × H1,550mm
主体重量 约 1,300kg

YSi-SP 3D高速锡膏印刷检查装置

YSi-SP 3D高速锡膏印刷检查装置
YSi-SP
对象基板尺寸 L510mm×W460mm ~ L50mm×W50mm(单轨机型)
※无双轨机型
水平分辨率(FOV尺寸) 1)25μm / 12.5μm(约50×50mm)
2)20μm / 10μm(约40×40mm)
3)15μm / 7.5μm(约30×30mm)
※均为标准选择式
高度分辨率 1µm
检查项目 锡膏印刷状态(体积、高度、面积、位置偏移)
电源规格 单相 AC 200/208/220/230/240V ±10% 50/60Hz
供给气源 无需空气
外形尺寸(突起部除外) L904×W1,080×H1,478mm
主体重量 约550kg
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